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J-GLOBAL ID：200903025954605491

静電チャック

Inventor： 森田 治
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993034699
Publication number (International publication number)：1994232243
Application date： Jan. 29, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 吸着性及び応答性を低下させずに、絶縁耐圧及び安定性に優れ、劣化が抑制される静電チャックを提供すること。【構成】 円板型電極であるアルミニウムの導電体1の上面は絶縁体であるセラミックス溶射膜2で被覆され、側面, 底面及び角部はセラミックス溶射膜3で被覆されている。試料の吸着部となるセラミックス溶射膜2は、TiO2 25wt%以下を含むAl2 O3 のセラミックス粉末を、その体積抵抗率が109 〜1011Ω・cmとなるように調整し、導電体1の上面に溶射する。また、他の全部となるセラミックス溶射膜3は、その体積抵抗率が1012〜1014Ω・cmとなるように調整されたAl2 O3 のセラミックス粉末を、導電体1の側面,底面及び角部に溶射する。セラミックス溶射膜2上に試料9が載置され、電圧印加により試料9が吸着,保持されようになっている。

Claim (excerpt)：

導電体が絶縁膜で被覆され、試料と前記絶縁膜との間に電圧を印加して前記絶縁膜上に試料を吸着する静電チャックにおいて、前記絶縁膜の前記試料に対する吸着部と他の一部又は全部とが、体積固有抵抗率を異ならせる組成で構成されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/31 ,  H02N 13/00