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J-GLOBAL ID：200903025967756472

エアロゾル熱分解法による薄膜形成方法

Inventor： 馬来 国弼 ,  吉田 博 ,  熱海 敏幸
Applicant, Patent owner： ジオマテック株式会社
Agent (1)： 秋山 敦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001334460
Publication number (International publication number)：2003138376
Application date： Oct. 31, 2001
Publication date： May. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】 大気圧下で薄膜形成が可能であり、構造が簡単な薄膜形成装置による製造コストの低い薄膜形成方法であって、かつ、均一性の高い良質な金属酸化物薄膜を大きな堆積速度で形成することが可能なエアロゾル熱分解法による薄膜形成方法を提供する。【解決手段】 エアロゾル熱分解法による薄膜形成方法は、大気圧下で、薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させ、発生したエアロゾルを熱分解して形成するものである。このエアロゾル熱分解法による薄膜形成方法は、薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させる工程と、前記薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えて発生させたエアロゾルをマイクロ波で分解する工程と、前記エアロゾルを加熱しながら基板に供給する工程から構成される。

Claim (excerpt)：

大気圧下で、薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させ、発生したエアロゾルを熱分解して形成する薄膜形成方法において、前記薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させる工程と、前記薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えて発生させたエアロゾルをマイクロ波で分解する工程と、前記エアロゾルを加熱しながら基板に供給する工程と、を備えてなることを特徴とするエアロゾル熱分解法による薄膜形成方法。

IPC (2)：

C23C 16/44 ,  C23C 24/10

FI (2)：

C23C 16/44 ,  C23C 24/10 C

F-Term (16)：

4K030AA03 ,  4K030AA24 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030EA01 ,  4K030FA14 ,  4K030LA01 ,  4K044AA12 ,  4K044BA12 ,  4K044BB01 ,  4K044BC14 ,  4K044CA15 ,  4K044CA24 ,  4K044CA44 ,  4K044CA55