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J-GLOBAL ID:200903026021368240

ガラスマスク

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 朝日奈 宗太 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992095451
Publication number (International publication number):1993289313
Application date: Apr. 15, 1992
Publication date: Nov. 05, 1993
Summary:
【要約】【目的】 ホコリの付着を防止するとともにパターンの静電破壊を防止することができるガラスマスクを提供する。【構成】 ガラス基板1の少なくとも一方の面に透明導電膜3が形成されてなるガラスマスク。
Claim (excerpt):
少なくとも一方の面に透明導電膜が形成されてなることを特徴とするガラスマスク。
IPC (2):
G03F 1/14 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭57-067674
  • 特開平3-002756

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