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J-GLOBAL ID:200903026045592124

多段式逆浸透システム及びこれを用いた超純水の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992192647
Publication number (International publication number):1993309237
Application date: May. 11, 1992
Publication date: Nov. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】本発明は、直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法に関し、特に、半導体製造において必要不可欠な超純水を長期間安定して得ることのできる多段式逆浸透(RO)システムを提供することにある。【構成】直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法において、少なくとも1台の膜モジュールに、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層を有する複合半透膜を用いる。
Claim (excerpt):
直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法において、少なくとも1台の膜モジュールに、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層を有する複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。
IPC (5):
B01D 61/08 ,  B01D 61/58 ,  B01D 69/02 ,  B01D 71/82 500 ,  C02F 1/44
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平2-194820
  • 特開平4-094726

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