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J-GLOBAL ID：200903026048666897

露光マスク装置

Inventor： 田村 哲司
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997214591
Publication number (International publication number)：1999052541
Application date： Aug. 08, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高価フィルムマスク描画装置や電子線描画装置を用いることなくマスクやレチクルに相当する機能を有する露光マスク装置を提供すること。【解決手段】 電子化された画像情報を表示させる液晶空間光変調器をホトマスクやレチクルとして用いることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

電子化された画像情報を表示させる液晶空間光変調器をホトマスクやレチクルとして用いることを特徴とする露光マスク装置。

IPC (4)：

G03F 1/08 ,  G02F 1/13 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

FI (4)：

G03F 1/08 A ,  G02F 1/13 505 ,  H05K 3/00 H ,  H01L 21/30 502 P