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J-GLOBAL ID：200903026071210990

メッキ治具

Inventor： 山崎 文宏 ,  北郷 秀紀 ,  江尻 雅彦
Applicant, Patent owner： 富士電気化学株式会社
Agent (1)： 岡田 守弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996205134
Publication number (International publication number)：1998046394
Application date： Aug. 05, 1996
Publication date： Feb. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、ウェハを着脱可能であって電気メッキにより均一な薄膜を形成するメッキ治具に関し、接点によるウェハへの電流供給を止め、ウェハの全周から均一に電流供給を行って電気メッキで形成する薄膜の厚さの均一性を向上させることを目的とする。【解決手段】 ウェハの外周の全面に接触する主電極板と、この主電極板をウェハの外周の全面に均一に接触させるための収縮する絶縁板と、この絶縁板の上に設け、ウェハ上に均一厚さの薄膜を形成するための補助電流分布を形成する補助電極板と、ウェハと絶縁板との間に圧縮方向の力を加えてウェハの外周の全周で接触させるウェハ押え板とから構成したメッキ治具である。

Claim (excerpt)：

ウェハを着脱可能であって電気メッキにより均一な薄膜を形成するメッキ治具において、ウェハの外周の全面に接触する主電極板と、この主電極板を上記ウェハの外周の全面に均一に接触させるための収縮する絶縁板と、この絶縁板の上に設け、上記ウェハ上に均一厚さの薄膜を形成するための補助電流分布を形成する補助電極板と、上記ウェハと上記絶縁板との間に圧縮方向の力を加えてウェハの外周の全周で接触させるウェハ押え板とから構成したメッキ治具。

IPC (3)：

C25D 17/08 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/39

FI (4)：

C25D 17/08 R ,  C25D 17/08 Q ,  G11B 5/31 M ,  G11B 5/39