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J-GLOBAL ID：200903026125122005

化学物質の検出方法およびそのためのセンサ

Inventor： ヤング・サー・チャン ,  キーナン・エル・エバンス
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997057186
Publication number (International publication number)：1997329576
Application date： Feb. 26, 1997
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 類似の化学種間の識別が可能で、検出可能な濃度範囲を拡張した方法およびセンサを提供する。【解決手段】 センサ(10)は、チャネル領域(34)を覆うゲート電極(20)を含む。ゲート電極(20)とチャネル領域(34)との間のギャップ(22)によって、ゲート電極(20)の表面(28)を化学物質に露出させる。化学物質に露出させると、ゲート電極(20)の表面電位または電気的インピーダンスが変化する。表面電位の変化を電気的インピーダンスの変化と比較することによって、類似した化学種間の識別を行い、しかもセンサ(10)の検出範囲を拡張する方法が得られる。

Claim (excerpt)：

化学物質の検出方法であって:感応物質(20)を用意する段階;前記感応物質(20)の表面電位を検出する段階;前記感応物質(20)の電気的インピーダンスを検出する段階;および前記表面電位を前記電気的インピーダンスと比較して、前記化学物質の存在を判定する段階;から成ることを特徴とする方法。

IPC (3)：

G01N 27/414 ,  G01N 27/12 ,  G01N 27/27

FI (4)：

G01N 27/30 301 X ,  G01N 27/12 A ,  G01N 27/30 301 E ,  G01N 27/46 A