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J-GLOBAL ID：200903026169476238
走査型プローブ顕微鏡用プローブとその作製方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997152242
Publication number (International publication number)：1998339736
Application date： Jun. 10, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】少ない形状のばらつきで作製可能な、実質的な頂角が小さい探針部を持つ走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供する。【解決手段】プローブ100は、弾性体から成る片持ち梁状の弾性部材部102が支持部101から延びており、その自由端に探針部103が形成されている。探針部103は平板三角形状をしており、その先端の二つの頂点104と105において三本の稜線が終端している。平板三角形状の探針部103の面法線方向とその先端の二点104と105を結ぶ稜線は平行である。これらの探針部103の先端の二つの終端点104と105が実質的な探針として作用し、試料表面との相互作用を生じる。片持ち梁状の弾性部材部102の面法線方向と平板三角形状の探針部103の面法線方向は平行でなく、従って、片持ち梁102は折れ曲がった形状をしている。
Claim (excerpt)：
支持部と、支持部に支持された片持ち梁状の弾性部材部と、弾性部材部の自由端に設けられた探針部とを有し、探針部は平板三角形状をしており、その面法線方向とその先端の稜線とが平行である走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
