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J-GLOBAL ID：200903026264221263
露光装置及びデバイス製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 西 和哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005309542
Publication number (International publication number)：2007123317
Application date： Oct. 25, 2005
Publication date： May. 17, 2007
Summary：
【課題】移動部材との間で電気性用力を伝送する際にも装置の大型化を防止する。【解決手段】互いに相対移動可能な第1装置100a、100bと第2装置20とを有し、第1装置100a、100bが電気性用力を用いて露光に関連した処理を行う。第1装置と第2装置とが所定の位置関係にあるときは第1装置と第2装置との間で電気性用力が非接触で伝送され、第1装置と第2装置とが所定の位置関係から外れたときは、第1装置と第2装置との間の電気性用力の伝送が停止される伝送装置T2を備え、第1装置は、第2装置と所定の位置関係にあるときのみ露光に関連した処理を行う。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
互いに相対移動可能な第1装置と第2装置とを有し、前記第1装置が電気性用力を用いて露光に関連した処理を行う露光装置であって、
前記第1装置と前記第2装置とが所定の位置関係にあるときは前記第1装置と前記第2装置との間で前記電気性用力が非接触で伝送され、前記第1装置と前記第2装置とが前記所定の位置関係から外れたときは、前記第1装置と前記第2装置との間の前記電気性用力の伝送が停止される伝送装置を備え、
前記第1装置は、前記第2装置と前記所定の位置関係にあるときのみ前記露光に関連した処理を行うことを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L21/30 503A
, G03F7/20 521
5F046BA05
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC08
, 5F046CC09
, 5F046CC17
, 5F046DA26
, 5F046DA27
