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J-GLOBAL ID：200903026281459672

走査力顕微鏡

Inventor： ロナルド シー ガンブル ,  ポール イー ウェスト
Applicant, Patent owner： トポメトリックス
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993046345
Publication number (International publication number)：1994026854
Application date： Mar. 08, 1993
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 原則的に制限なしに微小の試料および1グラムより重い静止試料の表面を検査するのに使用することができる改良自由起立型走査力顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】 この走査力顕微鏡は、流体と接触している試料を走査する能力を持っていて、広い範囲の大きさおよび重量の静止検体を検査するための一体化走査駆動体を備えた改良自由起立型走査力顕微鏡である。また、走査力顕微鏡は、検体へのセンサヘッドの接近の自動化を考慮して試料への光学レバーアームおよびセンサヘッドの接近を操作するためのモータ付き駆動体脚部を有している。

Claim (excerpt)：

静止検体の表面外形を検査するための走査力顕微鏡において、イ)上記検体に対して基質上に位置決めされるようになっている基部を有するハウジングと、ロ)上記ハウジングにこれに対して移動可能に取付けられたセンサ手段とを備え、該センサ手段は光学レバーアーム手段、反射面、および上記光学レバーアーム手段に連結されたプローブチップを有しており、上記プローブチップは実質的に一定な量の力で検体の表面外形に接触してこれらの外形をたどるようになっており、ニ)上記ハウジングに取付けられ、上記光学レバーアーム手段に当てられてこれにより反射される集束レーザビームを生じるためのレーザ光源と、ホ)上記光学レバーアーム手段により反射された上記レーザビームを受け、上記光学レバーアーム手段による上記レーザビームの偏向度を示す出力を発生させるための光検出器手段とを備え、上記光検出器手段は上記ハウジング内に設けられており、ヘ)上記ハウジングに対して3つの自由度で上記検体に対して上記センサ手段を移動させるための走査手段と、ト)上記検体の上記表面外形に対する上記プローブチップの一定の力を維持するための制御手段とを備えていることを特徴とする走査力顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-001517
  
• 特開平4-015967
  
• 特開昭59-218901