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J-GLOBAL ID：200903026291188030

検査装置および検査方法

Inventor：
糀谷 和人

About 糀谷 和人

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清水 敦

About 清水 敦

, 
田▲崎▼ 博

About 田▲崎▼ 博


Applicant, Patent owner：
オムロン株式会社

About オムロン株式会社


Agent (1)： 松井 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005074673
Publication number (International publication number)：2006258535
Application date： Mar. 16, 2005
Publication date： Sep. 28, 2006
Summary：
【課題】 モノづくり等で起こる不良出現の状況変化(初期試作(初期段階)→量産試作(調整段階)→量産(安定段階))に応じて、適切な検査を行なうことができる検査方法を提供すること。【解決手段】正常領域の形状の推定精度が不十分な状態の調整段階では、検査対象の波形データに対し、MTSによる異常判定と1クラスSVMによる異常判定を共に実行し、両者の判定結果に基づいて最終の異常判定を行なう。調整段階では、(a)に示すように、両判定機能の範囲が一致せず、判定結果が一致する場合と一致しない場合がある。そこで、(b)に示すファジィ推論を行ない、判定結果が一致する場合には、その結果を最終結果とし、異なる場合にはGRAYとする。良品の分布や正常領域の形状が安定している状態では、両者の判定結果に差異が無くなるので、検査対象の波形データに対し、MTSのみに基づいて異常判定を実行する。【選択図】 図10
Claim (excerpt)：
入力された検査対象の計測データに対して特徴量を抽出し、抽出した特徴量に基づいて状態を判定する検査装置を用いた検査方法であって、 前記検査装置は、良品から得られた正常データに基づくモデルに従って異常判定を実行するもので、パラメトリック判別モデルにより異常判定する機能と、ノンパラメトリック判別モデルにより異常判定をする機能を備え、 取得できるサンプルデータが十分でない、あるいは、特徴空間における良品の分布形状が不安定であることにより、正常領域の形状の推定精度が不十分な状態の調整段階では、検査対象の計測データに対し、前記パラメトリック判別モデルにより異常判定する機能と、前記ノンパラメトリック判別モデルにより異常判定をする機能を共に実行し、両者の判定結果に基づいて最終の異常判定を行ない、 取得できるサンプルデータは十分であり、良品の分布や正常領域の形状が安定している状態の安定段階では、検査対象の計測データに対し、前記パラメトリック判別モデルにより異常判定する機能のみに基づいて良否判定を実行することを特徴とする検査方法。
IPC (1)：
G01M 19/00
FI (1)：
G01M19/00 Z
F-Term (5)：
2G024AD01 ,  2G024BA27 ,  2G024CA13 ,  2G024DA25 ,  2G024FA06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特許第3484665号
  • 特許第3103193号
Cited by examiner (8)
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