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J-GLOBAL ID：200903026294707780

PLZTの駆動方法及びそのマイクロアクチュエータ

Inventor： 東山 恵三 ,  山本 啓介
Applicant, Patent owner： 三菱電線工業株式会社
Agent (1)： 藤本 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994169992
Publication number (International publication number)：1996014153
Application date： Jun. 29, 1994
Publication date： Jan. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 歪量に優れるPLZT(3/52/48)の駆動方法、及びそれを利用して充分な動作量を示すマイクロアクチュエータを得ること。【構成】 Pb1-0.03La0.03(Zr0.52Ti0.48)1-0.03/4O3からなる光歪体を、波長が350〜380nmのレーザー光の照射により変形させるPLZTの駆動方法、及び前記光歪体に光ファイバを介して波長が350〜380nmのレーザー光を照射するようにしてなるマイクロアクチュエータ。【効果】 所定のレーザー光の照射でPLZT(3/52/48)を大きな歪量で変形でき、光ファイバを介したレーザー光の照射で受光面積が小さい場合にも大きな動作量が得られて、内視鏡等のマイクロ装置に容易に組込みうる実用たりうるマイクロアクチュエータを形成できる。

Claim (excerpt)：

Pb1-0.03La0.03(Zr0.52Ti0.48)1-0.03/4O3からなる光歪体を、波長が350〜380nmのレーザー光の照射により変形させることを特徴とするPLZTの駆動方法。

IPC (2)：

F03G 7/00 ,  C04B 35/49