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J-GLOBAL ID：200903026296048652

耐腐食性電極接続を備えた静電チャック

Inventor： シャモイル シャモイリアン ,  マヌーチャー ビラング ,  アラン ゴールドスピール ,  ロン ノースラップ ,  サッソン ソメクー
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995033891
Publication number (International publication number)：1996055904
Application date： Feb. 22, 1995
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ペデスタル端部を越えて延びた静電積層ストラップ領域を除去することにより、プラズマに晒される静電積層領域を減少すること。【構成】 静電チャックは、半導体基板(8)を処理チャンバ内の所定位置に固定するために設けられる。静電チャックの電極(34)の電気接続は、ペデスタル(30)を介して、チャックのストラップ部を処理環境により生じる腐食から保護するために提供されている。

Claim (excerpt)：

処理チャンバ内で処理する為の半導体基板を受容するペデスタル上の配置の為の静電チャックであって、上記ペデスタル上に受容され、内部に電極を有する静電部材と、上記ペデスタルを通じて伸び電極と係合する電極電圧供給用リードと、を備える静電チャック。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  B23Q 3/15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 静電チャック及びこの静電チャックを備えたプラズマ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-204801   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝
• 特開平3-283445
  
• 特開平4-078133