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J-GLOBAL ID：200903026343425788

ガス放電パネルの製造方法

Inventor： 東野 秀隆 ,  長尾 宣明
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 中島 司朗 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000148963
Publication number (International publication number)：2001043802
Application date： May. 19, 2000
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】排気工程における排気を効率良く行えるガス放電パネルの製造方法を提供すること。【解決手段】真空排気工程において、加熱炉51内の温度を封着材層の軟化点よりも低い温度(排気ベーキング温度)で加熱(ベーキング)しながら、開閉バルブ53fを適度に開いた状態で、ターボ分子ポンプ53b及びロータリーポンプ53cを作動させて外囲器40内を真空状態にまで吸引し、その後、ガス導入系統52から放電ガスを外囲器40内に所定圧(例えば、0.05MPa)導入する。そして、次に、ガス導入系統52からの放電ガス導入を止め、吸引排気系統53から外囲器内の放電ガスを吸引排出させ、外囲器40内を再び真空状態とする。

Claim (excerpt)：

発光セル同士を隔てる隔壁が主表面に形成された第1基板の当該隔壁側表面上に第2基板を対向配置することにより外囲器を形成する外囲器形成ステップと、当該外囲器における両基板の外周部同士を封着材で封着する封着ステップと、当該外囲器の内部のガスを排気する排気ステップと、当該外囲器の内部に放電ガスを封入する封入ステップとを備えるガス放電パネルの製造方法であって、前記排気ステップは、外囲器内を真空排気するサブステップと、その後、外囲器の内部に放電ガスに対して不純物とならないガスを実質的な成分とする洗浄ガスを充填するサブステップと、その後、外囲器の内部を真空排気するサブステップを含むことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。

IPC (3)：

H01J 9/385 ,  H01J 9/40 ,  H01J 11/02

FI (4)：

H01J 9/385 A ,  H01J 9/40 A ,  H01J 11/02 D ,  H01J 11/02 A

F-Term (7)：

5C012AA09 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB02 ,  5C040GJ02 ,  5C040HA04 ,  5C040MA26