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J-GLOBAL ID：200903026343831417

インダクタ

Inventor： 白木 康博 ,  田邉 信二 ,  山口 正洋 ,  荒井 賢一
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998157731
Publication number (International publication number)：1999354323
Application date： Jun. 05, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 単位体積当たりのインダクタンスを増加させ、小型で高効率のインダクタを提供する。【解決手段】 チップ5上に、非磁性絶縁体4、スパイラル状コイル導体2、非磁性絶縁体3、磁性薄膜1を、下から順番に成膜してインダクタを構成する。この際、上記磁性薄膜1の厚さを、表皮深さの約1/10とする。

Claim (excerpt)：

基板上に積層形成されたスパイラル状コイル導体、このコイル導体の上に積層形成された非磁性絶縁体、この非磁性絶縁体の上に積層形成された磁性薄膜により構成されたインダクタにおいて、上記磁性薄膜の厚さが表皮深さの約1/10であることを特徴とするインダクタ。

IPC (5)：

H01F 17/00 ,  H01F 10/08 ,  H01F 30/00 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (4)：

H01F 17/00 B ,  H01F 10/08 ,  H01F 15/14 ,  H01L 27/04 L