ウェーハ単離装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石原詔二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995215905
Publication number (International publication number)：1997064152
Application date： Aug. 24, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】ウェーハ積層体からウェーハを1枚ずつ簡単かつ確実に引き離すことができるようにしたウェーハ単離装置を提供する。【解決手段】多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体の最上層のウェーハの周縁部を上方に反らせ、該最上層のウェーハの下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に流体を吹き込むとともに該最上層のウェーハを上昇せしめ、ウェーハを単離するようにした。

Claim (excerpt)：

多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体の最上層のウェーハの周縁部を上方に反らせ、該最上層のウェーハの下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に流体を吹き込むとともに該最上層のウェーハを上昇せしめ、ウェーハを単離するようにしたことを特徴とするウェーハ単離装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , B65G 59/04 , B65H 3/08 321

FI (4)：

H01L 21/68 B , B65G 49/07 G , B65G 59/04 , B65H 3/08 321

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

ウェーハの分離方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-112618 Applicant：ニチデン機械株式会社
特開平4-032426

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