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J-GLOBAL ID：200903026418928470

硬質材料の被覆方法

Inventor： ヴォルフ-ディーター ミュンツ
Applicant, Patent owner： ハウツァー ホールディング ベーファウ
Agent (1)： 志賀 富士弥 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993039763
Publication number (International publication number)：1994093417
Application date： Mar. 01, 1993
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 Taおよび/またはNbのような層を蒸着するために、特に有利で、技術的に問題のない方法を提供する。【構成】 永久磁石システムを備えたカソード2は、硬質材料の蒸着用のマグネトロンカソードを形成する第1のカソードと、基板4のエッチング用、およびTaおよび/またはNbの遷移層の形成用に使用する第2のカソードと、マグネトロンカソードとして作用する第3のカソードからなる。第2のカソード2を使用して、基板4のエッチング前処理を行った後、再び第2のカソード2を使用して遷移層を形成する。この工程の間、TaまたはNbイオンが基板に注入され、遷移層または固着層が形成される。その後、磁石システムをマグネトロンカソードシステムに変え、Taおよび/またはNb層を遷移層上に蒸着する。

Claim (excerpt)：

TiN,TiCN,ZrN,ZrCN,HfN,HfCN,TiAlN,TiAlCN,TiZrN,TiZrCN,TiNbN,TiNbCN,CrNおよびCrCNの少なくとも一つからなる硬質材料層を、基板の少なくとも一部に形成する前に、TaおよびNbからなる十分にイオン化した金属蒸気内におけるアーク法によるエッチング工程中に、基板表面をTaおよび/またはNbイオンで富化することを特徴とする、物理蒸着法による硬質材料の被覆方法。

IPC (2)：

C23C 14/02 ,  C23C 14/06