透過電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：菅井英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169791
Publication number (International publication number)：2001006593
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】透過電子顕微鏡において球面収差を補正する。【解決手段】照射レンズ2と補助照射レンズ3は、試料上の電流密度によらず、電子回折が常に固定された位置に形成されるように連動制御される。この電子回折が形成される位置には対物レンズ4によって6極子場10が形成され、この6極子場10と共役に6極子コイル14が配置される。6極子場10と6極子コイル14との間にはダブレットレンズ11が配置される。対物レンズ4は無限遠結像である。球面収差の補正に関しては、6極子場10の作用は無視でき、6極子コイル14の強度及びその磁場の光軸方向長さを最適に設計することで球面収差を補正できる。また、6極子場10で導入されたプライマリな効果は、3回対称なので6極子コイル14において相殺される。

Claim (excerpt)：

試料上の電流密度によらず、電子回折のクロスオーバーが対物レンズの後焦点面に常に固定されて形成されるように連動して制御される照射レンズ及び補助照射レンズと、対物レンズと、対物レンズによって形成される6極子場であって、その磁場の中心が後焦点面に一致するように形成される6極子場と、その磁場の中心が、前記6極子場の磁場の中心である後焦点面と共役な位置に配置された3回対称の磁場を生じる多極子コイルと、前記6極子場と、前記多極子コイルとの間に配置され、前記6極子場の磁場の中心である後焦点面に形成された電子回折を、前記多極子コイルの磁場の中心の位置に移すダブレットレンズとを備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/141 , H01J 37/153

FI (2)：

H01J 37/141 Z , H01J 37/153 A

F-Term (5)：

5C033DD02 , 5C033DD04 , 5C033DD07 , 5C033DE03 , 5C033HH05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開平4-206248
特開昭59-170753
特開昭61-061360

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