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J-GLOBAL ID：200903026425880475

液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： 鈴木 光明 ,  中島 充雄 ,  瀬戸 俊祐
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996009872
Publication number (International publication number)：1997197437
Application date： Jan. 24, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 基板全体にわたって特性が均一で、表示品質の高い液晶表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の液晶表示装置は絶縁性基板と、この絶縁性基板上に形成された導電性膜と、この導電性膜上に形成した絶縁膜と、この絶縁膜上に形成した画素電極及びこの画素電極を選択駆動する薄膜トランジスタアレイとを有するアレイ基板と、透明電極を形成した対向基板と、アレイ基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備したことを特徴とする。本発明の液晶表示装置の製造方法は、絶縁性基板上に導電性膜と絶縁膜とを順次形成する工程と、絶縁膜上に堆積した薄膜の所定部分を、前記導電性膜の電位を制御しながらエッチング除去してパターニングする工程とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板と、この絶縁性基板上に形成された導電性膜と、この導電性膜上に形成した絶縁膜と、この絶縁膜上に形成した画素電極及びこの画素電極を選択駆動する薄膜トランジスタアレイとを有するアレイ基板と、透明電極を形成した対向基板と、前記アレイ基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備したことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343

FI (4)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1343