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J-GLOBAL ID：200903026447579124

ステージ駆動制御装置

Inventor： 徳永 雅昭
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995198183
Publication number (International publication number)：1997027443
Application date： Jul. 11, 1995
Publication date： Jan. 28, 1997
Summary：

【要約】【目的】 ステージを自由度より多い数の駆動手段により駆動する場合に制御手段(コントローラ)相互間の干渉を効果的に防止する。【構成】 ステージ10の位置が干渉計20、22、24により検出されると、変換手段26では干渉計で検出した情報をステージの重心の自由度毎の位置及び速度情報に変換する。自由度毎のPIコントローラ54、56、58では重心のθ方向、Y方向、X方向の位置偏差の速度変換値と重心のそれぞれの方向の速度との差であるれぞれの方向の速度偏差に基づいて重心の運動に必要な自由度毎の制御量を(比例+積分)動作により求める。変換手段60ではコントローラ54、56、58の出力を入力し、モータ12、14、16、18のそれぞれで発生すべき制御量に変換し、変換後の制御量を各モータに指令値として与える。

Claim (excerpt)：

少なくとも1自由度を持ち当該自由度より多い数の駆動手段で駆動されるステージを駆動制御するステージ駆動制御装置であって、前記ステージの位置を検出する位置検出手段と;前記位置検出手段で検出した情報を前記ステージの重心の自由度毎の位置及び速度の少なくともいずれか一方の情報に変換する第1の変換手段と;重心の自由度毎の目標位置と前記第1の変換手段で変換された重心の自由度毎の位置との差である自由度毎の位置偏差と、重心の自由度毎の目標速度と前記第1の変換手段で変換された重心の自由度毎の速度との差である自由度毎の速度偏差の少なくとも一方に基づいて重心の運動に必要な自由度毎の制御量を比例動作又は(比例+積分)動作により求める自由度毎の制御手段と;前記全ての自由度毎の制御手段の出力を入力し、前記各駆動手段毎に発生すべき制御量に変換し、変換後の制御量を前記各駆動手段に指令値として与える第2の変換手段とを有するステージ駆動制御装置。