Pat

J-GLOBAL ID：200903026451556520

薄膜コンデンサ及びその製造方法

Inventor： 鈴木 三紀男
Applicant, Patent owner： ルビコン電子株式会社
Agent (1)： 伊藤 進
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991209563
Publication number (International publication number)：1993047588
Application date： Aug. 21, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 薄型で、良好なコンデンサ特性を有することができ、また、容易に多種多様な特性の薄膜コンデンサを製造できる薄膜コンデンサ及びその製造方法を提供する。【構成】 ベース2上に蒸着により電極3aを形成する第一の工程と、直前の工程において形成した電極上に複数のモノマーからなる高分子重合体を誘電体として蒸着重合法により形成する第二の工程と、この第二の工程において形成した誘電体上に直前の工程により形成した電極と対する電極を蒸着により形成する第三の工程とを備え、上記第一の工程の後に上記第二の工程と上記第三の工程とを少なくとも1回以上行ない薄膜コンデンサ1を形成する。

Claim (excerpt)：

蒸着により形成した対向電極間に、蒸着重合法により形成した複数のモノマーからなる高分子重合体を誘電体として有することを特徴とする薄膜コンデンサ。

IPC (2)：

H01G 4/06 102 ,  H01G 13/00 391