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J-GLOBAL ID:200903026459305453

圧電/電歪素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 千葉 剛宏 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001277889
Publication number (International publication number):2003086856
Application date: Sep. 13, 2001
Publication date: Mar. 20, 2003
Summary:
【要約】【課題】室温より高い環境下において長時間駆動しても、変位量の低下を抑えることができようにして、信頼性の向上及び耐用期間の長期間化を達成させる。【解決手段】圧電/電歪層24と、該圧電/電歪層24に形成された少なくとも一対の電極26a及び26bとを有する圧電/電歪素子10において、圧電/電歪層24は、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)にMnをMnO2換算で0.1〜0.5wt%含む材料、あるいはPbを含み、Pbの一部をSrで置換したPb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbZrO3-PbTiO3系のペロブスカイト型圧電/電歪材料にMnをMnO2換算で0.1〜0.5wt%含む材料にて構成されている。
Claim (excerpt):
厚肉部を周縁部に持つ薄肉部を有する基板上に、圧電/電歪層と、該圧電/電歪層に形成された少なくとも一対の電極とを有する圧電/電歪素子本体が形成された圧電/電歪素子において、温度70°C、50時間連続駆動後における前記圧電/電歪素子本体の変位量の初期変位量に対する減少率が15%以下であることを特徴とする圧電/電歪素子。
IPC (4):
H01L 41/09 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187
FI (7):
C04B 35/49 A ,  C04B 35/49 R ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/18 101 F ,  H01L 41/18 101 E ,  H01L 41/18 101 Z
F-Term (13):
4G031AA03 ,  4G031AA04 ,  4G031AA05 ,  4G031AA06 ,  4G031AA09 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA14 ,  4G031AA19 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031GA02 ,  4G031GA06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 圧電磁器組成物
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-331643   Applicant:ティーディーケイ株式会社
  • 特開平2-201977
  • セラミック素子
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平10-356691   Applicant:日本碍子株式会社
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