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J-GLOBAL ID：200903026472878314

感光性樹脂組成物及びこれを用いたパターンの形成方法

Inventor： 松嶋 倫江 ,  宮川 健一 ,  勝又 直也 ,  大田 勝行
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000057670
Publication number (International publication number)：2001249451
Application date： Mar. 02, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】耐エッチング性、感度、保存安定性及び安全性に優れ、水又はアルカリ水溶液により現像が可能な感光性組成物を提供すること。【解決手段】(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)水溶性光酸発生剤及び(e)架橋剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物及びこれを用いたパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、(d)水溶性光酸発生剤及び(e)架橋剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (14)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/50 ,  C08F265/02 ,  C08K 5/3472 ,  C08K 5/3492 ,  C08L 61/32 ,  C08L101/08 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/06

FI (15)：

G03F 7/033 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/50 ,  C08F265/02 ,  C08K 5/3472 ,  C08K 5/3492 ,  C08L 61/32 ,  C08L101/08 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/06 G

F-Term (114)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BE08 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB48 ,  2H025CB51 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA40 ,  4J002AA061 ,  4J002BG011 ,  4J002BH021 ,  4J002CC162 ,  4J002CC182 ,  4J002EE037 ,  4J002EE047 ,  4J002EH046 ,  4J002EH076 ,  4J002EN067 ,  4J002EU037 ,  4J002EU117 ,  4J002EU169 ,  4J002EU179 ,  4J002EU188 ,  4J002EV307 ,  4J002FD142 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002FD209 ,  4J002GP03 ,  4J011AA05 ,  4J011PA69 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB16 ,  4J011SA02 ,  4J011SA05 ,  4J011SA07 ,  4J011SA14 ,  4J011SA16 ,  4J011SA20 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA27 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA42 ,  4J011SA45 ,  4J011SA61 ,  4J011SA64 ,  4J011SA77 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA21 ,  4J026AA37 ,  4J026AA38 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA49 ,  4J026AA53 ,  4J026AA57 ,  4J026AA68 ,  4J026AA69 ,  4J026AA71 ,  4J026AC23 ,  4J026AC26 ,  4J026BA28 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026DA02 ,  4J026DA08 ,  4J026DA13 ,  4J026DB05 ,  4J026DB06 ,  4J026DB15 ,  4J026FA05 ,  4J026FA09 ,  4J026GA06 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE12 ,  5E339CE19 ,  5E339CF15 ,  5E339CF18 ,  5E339CG04 ,  5E339DD02