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J-GLOBAL ID：200903026479741373

微細機構を有する加速度計およびその製造方法

Inventor： トーマス・ゲスナー ,  マーティン・ハフェン ,  エバハード・ハントリッチ ,  ペーター・ライネフェルダー ,  ブルーノ・リルコ ,  エクバート・フェター ,  マイク・ビーマー
Applicant, Patent owner： リテフ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフトウング
Agent (1)： 深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994089357
Publication number (International publication number)：1994331651
Application date： Apr. 27, 1994
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 層状構造からなる、高精度の、漏れ容量の非常に少ない、かつ温度安定性の高い微細機構を有する加速度計を製造する。【構成】 加速度計は薄い半導体材料の酸化物層で絶縁された特に5枚の半導体ウエハから作られる。カバーおよびベースプレート(1,5)はまず関連の絶縁プレート(2,4)に接合され、カバーおよびベースプレート(1,5)に固定された対向電極(6,7)が絶縁プレート(2,4)から異方性エッチングによって作られ、コンタクトウィンドウ(10,11)を介して接触可能である。中心ウエハ(3)は異方性エッチングによって作られ、差動キャパシタの移動可能な中心電極として働く質量部材(14)(振子)を含む。5層構造は半導体融接によって気密封止される。ウエハのマージンの段差形状によって各ウエハは電気的に接触可能であり、接触パッド(17-21)が各ウエハに設けられる。

Claim (excerpt)：

微細機構を有する加速度計の製造方法であって、その移動可能な質量部材(14)は差動キャパシタの中心電極を同時に形成し、加速度計が、複数個のプレート状半導体ウエハの層状複合体として以下の方法ステップで製造されることを特徴とし、前記方法ステップは、2枚の未構成のウエハを互いに接合することによって上部カバープレート(1)および下部カバープレート(5)を用意するステップを含み、各内側のウエハは絶縁プレート(2,4)を形成し、さらにマスキングの後、移動可能な質量部材(14)または中心電極に対向する対向電極のために、一方で各絶縁プレート(2,4)までカバープレート(1)およびベースプレート(5)中へ延びるコンタクトウィンドウ(10,11)を異方性エッチングによって作るステップを含み、対向電極(6,7)は他方で各絶縁プレートから異方性エッチングによって同様に露出され、さらにウエハ平面に垂直に移動可能な一方だけで結合されたプレート形状の質量部材(14)を、適切なマスキングの後に、絶縁プレート(2,4)が設けられたカバープレート(1)とベースプレート(5)との間に配置されるべき中心半導体ウエハ(3)中に異方性エッチングによって設計するステップと、カバープレート(1)およびベースプレート(5)を、関連した絶縁プレート(2,4)とともに半導体融接によって、移動可能な質量部材(14)を含む中心半導体ウエハ(3)に気密封止された態様で接続して層状複合体を形成するステップとを含む、方法。

IPC (3)：

G01P 15/125 ,  H01L 21/306 ,  H01L 29/84