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J-GLOBAL ID:200903026487593499

クリーンルームの給気吹出ユニット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 野本 陽一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993132389
Publication number (International publication number):1994323616
Application date: May. 12, 1993
Publication date: Nov. 25, 1994
Summary:
【要約】【目的】 給気吹出ユニットから吹き出される空気の流速を低減すると共に、クリーンルーム内の気流及び温度分布を均一化させる。【構成】 給気ダクト2に接続されるフィルタ収容部11及びこのフィルタ収容部11よりも大口径のフード12が連続的に形成された取付フレーム10と、フィルタ収容部11に充填されるフィルタ20と、その下流側にあってフード12の内周に封着され多数のオリフィス31が離散的に開設された整流板30と、その下流側にあってフード12の吹出端部内周に封着され多数のオリフィス41が離散的に開設された吹出板40とを備え、好ましくは整流板30よりも吹出板40のオリフィスの開口率を低くする。
Claim (excerpt):
天井の給気ダクトに接続されるフィルタ収容部及びその下流側にあって前記フィルタ収容部よりも大口径のフードが連続的に形成された取付フレームと、前記フィルタ収容部の内周に充填されるフィルタと、このフィルタの下流側にあって前記フードの内周に封着され多数のオリフィスが離散的に開設された所要数の整流板と、この整流板の下流側にあって前記フードの吹出端部内周に封着され多数のオリフィスが離散的に開設された吹出板と、を備えたことを特徴とするクリーンルームの給気吹出ユニット。
IPC (3):
F24F 13/068 ,  F24F 7/06 ,  F24F 13/08

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