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J-GLOBAL ID：200903026494199364

粗動微動機構

Inventor： 宮▲崎▼ 俊彦 ,  川瀬 俊光 ,  多川 昌宏
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992133494
Publication number (International publication number)：1993323058
Application date： May. 26, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡、その応用装置である記録再生装置等の精密位置決めに用いる粗動微動機構を得る。【構成】 一方向に移動可能にした移動部材と、該移動部材を挟んで移動方向に対向して設けられた一対の移動用伸縮素子と、該移動用伸縮素子の移動部材側と反対側をそれぞれクランプする一対のクランプ手段とを具備する粗動微動機構及びこれらをXY軸上に配置する構成。

Claim (excerpt)：

基台に対して直線案内機構によって一方向に移動可能な移動部材と、該移動部材の移動方向に可動な可動部と、該可動部を挟んで移動方向に対向して設けた一対の移動用伸縮素子と、前記基台及び可動部にそれぞれ設けられ、前記移動部材をクランプする複数のクランプ手段とから成り、該複数のクランプ手段の作動によって、前記移動用伸縮素子の伸縮に基づく前記可動部の変位を前記移動部材の変位に変換する粗動機構。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-097538
  
• 特開昭63-007248
  
• 特開平1-097538
  
• 特開昭63-007248