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J-GLOBAL ID：200903026530231539
基板の観察装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991317705
Publication number (International publication number)：1993152799
Application date： Dec. 02, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：
【要約】【目的】 様々な材料から成る基板上の被測定物を、明瞭に観察することができる基板の観察装置を提供する。【構成】 基板10上の被測定物11を第1の光路20を経て観察するカメラ1と、この第1の光路20を経てこの被測定物11へ向って上方から垂直に照明光を照射する第1の光源5と、第2の光路30を経てこの被測定物11へ向って照射光を照射する第2の光源6とを備えた観察装置において、この第2の光源6と前記基板10の間にあって、この第2の光源6から照射された照明光を内方へ反射させて、上記被測定物11に斜上方から照射する筒状の光反射体3と、前記第1、第2の光路20、30中に第1、第2の偏光フィルタ12、13をそれぞれ着脱自在に設け、且つこの第1、第2の偏光フィルタ12、13を相対的に回転角度調整自在にして、基板10の観察装置を構成した。
Claim (excerpt)：
基板上の被測定物を第1の光路を経て観察するカメラと、この第1の光路を経てこの被測定物へ向って上方から垂直に照明光を照射する第1の光源と、第2の光路を経てこの被測定物へ向って照射光を照射する第2の光源とを備えた観察装置において、この第2の光源と前記基板の間にあって、この第2の光源から照射された照明光を内方へ反射させて、上記被測定物に斜上方から照射する筒状の光反射体と、前記第1、第2の光路中に第1、第2の偏光フィルタをそれぞれ着脱自在に設け、且つこの第1、第2の偏光フィルタを相対的に回転角度調整自在にしたことを特徴とする基板の観察装置。
IPC (5)：
H05K 13/04
, G01N 21/21
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, H05K 3/00
