Pat

J-GLOBAL ID：200903026533137266

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 村田 清 ,  山本 將史 ,  征矢野 晃雅 ,  梶田 徹 ,  下川 努
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000273962
Publication number (International publication number)：2002082438
Application date： Sep. 08, 2000
Publication date： Mar. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、組成物としての保存安定性にも優れ、また基板に対して十分な接着性を保持した感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)少なくとも1個の水素原子が窒素原子に結合したアミノ基を1つ以上有する化合物の前記窒素原子に結合した水素原子の1個以上がt-ブトキシカルボニル基で置換された低分子化合物、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)主鎖および/または側鎖に脂環族構造を有し、かつ側鎖にカルボン酸無水物構造を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)少なくとも1個の水素原子が窒素原子に結合したアミノ基を1つ以上有する化合物の前記窒素原子に結合した水素原子の1個以上がt-ブトキシカルボニル基で置換された低分子化合物、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)主鎖および/または側鎖に脂環族構造を有し、かつ側鎖にカルボン酸無水物構造を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  C08L101/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  C08L101/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (35)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025CC20 ,  4J002BG071 ,  4J002BH021 ,  4J002BK001 ,  4J002EB127 ,  4J002EN026 ,  4J002EN036 ,  4J002EN066 ,  4J002EN076 ,  4J002EP016 ,  4J002EQ017 ,  4J002ET016 ,  4J002EU026 ,  4J002EU036 ,  4J002EU116 ,  4J002EU136 ,  4J002EU187 ,  4J002EU236 ,  4J002EV126 ,  4J002EV217 ,  4J002EV237 ,  4J002EV247 ,  4J002FD147