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J-GLOBAL ID：200903026538749596

電界発光素子の電極作製方法

Inventor： 井上 鉄司 ,  中山 正俊 ,  柴原 正典 ,  中谷 賢司
Applicant, Patent owner： テイーデイーケイ株式会社
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287255
Publication number (International publication number)：1993101889
Application date： Oct. 08, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 界発光素子に対する電極の結合力を向上させること。【構成】 有機電界発光素子の電極を作製する方法において、有機発光層、正孔輸送層又は電子輸送層である基体層と、前記基体層の表面側に配置したグリッド電極とを、共に負電位にバイアスし、前記基体層の表面をプラズマ又は逆スパッタした後、空気に露呈することなく引き続いて前記基体層の表面に電極を気相成膜する。【効果】 界発光素子に対する電極の結合力が向上した。

Claim (excerpt)：

有機電界発光素子の電極を作製する方法において、有機発光層、正孔輸送層又は電子輸送層である基体層と、前記基体層の表面側に配置したグリッド電極とを、共に負電位にバイアスし、前記基体層の表面をプラズマ又は逆スパッタした後、空気に露呈することなく引き続いて前記基体層の表面に電極を気相成膜することを特徴とする、有機電界発光素子の電極作製方法。

IPC (4)：

H05B 33/10 ,  C09K 11/00 ,  G09F 9/30 337 ,  H05B 33/26