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J-GLOBAL ID：200903026547602700

放射線感応性樹脂組成物

Inventor： 伊東 敏雄
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156429
Publication number (International publication number)：1995134416
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 放射線に対して高い感度を有しかつ高解像度の新規な放射線感応性樹脂組成物を提供すること。【構成】 第1の成分として、分子量11500、分子量分散1.23のポリ(ヒドロキシスチレン)1.2g、第2の成分として、ナフタレンスルホン酸t-ブチル132mg、第3の成分として、トリフェニルスルホニウムトリフレート20.6mgをそれぞれ溶剤であるシクロヘキサノン6.0mlに溶解してレジスト液を調製する。

Claim (excerpt)：

フェノール樹脂、スルホン酸エステル及び酸発生剤を含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027