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J-GLOBAL ID：200903026578931923

位置検出方法、及び位置検出装置

Inventor： 白石 直正
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995088985
Publication number (International publication number)：1996288197
Application date： Apr. 14, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】基板上の回折格子マークの位置を検出する際、そのマークの振幅反射率の影響による精度劣化を低減する。【構成】基板上の回折格子マークを照明する送光ビームを互いに異なる複数の波長成分の夫々に時分割的に順次切り換え、各波長成分の送光ビーム毎に格子マークからの回折光を光電検出し、各波長成分毎に個別に格子マークの位置、又は位置ずれを算出した後、各波長成分毎の位置(又は位置ずれ量)を各波長成分の光電信号の振幅に応じて加重平均化する。

Claim (excerpt)：

位置検出すべき基板上に所定のピッチで形成された回折格子状の格子パターンに対称的な2方向から可干渉性の照明ビームを照射し、前記格子パターンから発生する複数の回折光のうち、2以上の次数差をもって同一方向に進む2つの回折光同志の相互干渉光を光電検出手段で受光し、該光電検出手段から出力される光電信号に基づいて前記格子パターンの周期方向の位置を検出する方法において、互いに波長の異なるn個の可干渉性ビームを放出するための複数の光源を用意し、前記格子パターンを対称的な2方向から照射する照明ビームとして、前記複数の光源の各々からの可干渉性ビームを時間的に順次切り換えて1波長毎に所定の照射時間分ずつ供給する段階と;該所定の照射時間ずつ波長が切り換えられた照明ビームの照射により前記格子パターンから発生する相互干渉光を前記光電検出手段で受光し、該相互干渉光の各波長毎の光量に応じてレベル変化するn個の光電信号を発生させる段階と;前記n個の光電信号の各々に基づいて前記格子パターンのピッチ方向に関するn個の位置情報を算出する段階と;前記n個の光電信号の各々の振幅値に応じた重みを付加して前記n個の位置情報を加重平均演算することによって前記格子パターンの位置を確定する段階とを備えたことを特徴とする位置検出方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (3)：

H01L 21/30 522 D ,  G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H