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J-GLOBAL ID：200903026595002413

半導体の熱処理方法

Inventor： 櫻田 隆
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 川瀬 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999315260
Publication number (International publication number)：2001135590
Application date： Nov. 05, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：

【要約】【目的】 Siをイオン注入したGaAs基板をアニールするときに内部にSiが拡散せず、しかもスリップ、ウエハ反りが発生しないような熱処理法を与えること。【構成】 熱処理の為に昇温する過程でスリップが発生する温度領域において昇温速度を低下させる待機ステップを設ける。或いは熱処理後に降温する過程でスリップが発生する温度領域において降温速度を低下させる待機ステップを設ける。待機ステップによってウエハ中心部と周辺部の温度差が減少してスリップや反りが発生しなくなる。

Claim (excerpt)：

半導体基板に不純物イオンを加速して注入するイオン注入後の活性化アニールにおいて、降温時に降温速度を一時的に低下させる待機ステップを設けたことを特徴とする半導体の熱処理方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-225833   Applicant：松下電子工業株式会社
• 半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-045511   Applicant：住友電気工業株式会社