Pat

J-GLOBAL ID：200903026626595949

アライメントマークを備えた部品及びその位置検出方法

Inventor： 藤田 義高 ,  山田 繁
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Agent (1)： 杉村 次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994193867
Publication number (International publication number)：1996043031
Application date： Jul. 27, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 アライメントマークの大きさが目的とする大きさより小さくなっても、2つのアライメントマークの間の中点を正確に検出する。【構成】 2つのアライメントマーク11、12の形状は直角三角形となっている。この場合、図1(A)において、目的とする大きさが点線で示す大きさであっても、サイドエッチング量がRであるとすると、実際の大きさは実線で示す大きさとなるが、直角三角形の頂点部の大きさは変化しない。そこで、この頂点部をパターンマッチング法により検出すると、この頂点部に対応する認識マーク17、18と登録マーク13、14とを完全に一致させることができる。したがって、両アライメントマーク11、12の頂点部を的確に画像認識することができ、ひいてはその間の中点Pを正確に検出することができる。

Claim (excerpt)：

同一直線上に2つのアライメントマークを備えた部品において、前記2つのアライメントマークは、角形の頂点部に対応する形状の凸部または凹部を前記直線上に線対称的に有する形状であることを特徴とするアライメントマークを備えた部品。