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J-GLOBAL ID：200903026633890620

X線光源装置用ターゲット駆動装置

Inventor： 西村 靖彦 ,  井下 章 ,  東 博純 ,  間瀬 晃
Applicant, Patent owner： 株式会社トヨタマックス ,  株式会社豊田中央研究所 ,  トヨタ自動車株式会社
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998187745
Publication number (International publication number)：2000019299
Application date： Jul. 02, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】X線光源装置の真空を維持した状態で支持部材の表面に付着したターゲット残渣の除去を行い、X線を長時間連続的に安定して発生させる。【解決手段】テープ状のターゲット30をその長手方向に移動させるターゲット供給装置6と、集光位置でターゲット30の背面に設けられた支持部材7と、支持部材7表面のターゲット残渣を除去する除去手段80とを有する。除去手段80を駆動することで、真空を維持してレーザー光を照射しながら支持部材7の表面に付着したターゲット残渣の除去を行うことができる。

Claim (excerpt)：

励起用レーザー光をターゲットに照射することで該ターゲットからレーザープラズマX線を発生させるX線光源装置に用いられるターゲット駆動装置であって、テープ状のターゲットと、該ターゲットをその長手方向に移動させて該レーザー光の集光位置へ連続的又は間欠的に供給するターゲット供給装置と、該ターゲットを支持する支持部材と、少なくとも該支持部材の表面に付着したターゲット残渣を除去する除去手段と、からなることを特徴とするX線光源装置用ターゲット駆動装置。

IPC (3)：

G21K 5/08 ,  G21K 5/02 ,  H01S 4/00

FI (3)：

G21K 5/08 X ,  G21K 5/02 X ,  H01S 4/00

F-Term (10)：

5F072AA05 ,  5F072AA06 ,  5F072AB01 ,  5F072AB07 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5F072QQ02 ,  5F072YY20