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J-GLOBAL ID：200903026640161315

リード検査装置

Inventor： 矢崎 憲弘 ,  工藤 和雄 ,  村上 伸夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東部セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 梶原 辰也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994093105
Publication number (International publication number)：1995280534
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 リード先端面の認識精度を向上させたリード検査装置を提供する。【構成】 QFI・IC1が表面を下にして保持される検査台4と、QFI・IC1のリード3列を上方から撮像するテレビ・カメラ11と、QFI・IC1を側方から照明する発光ダイオード28からなる照明装置と、テレビ・カメラ11の撮像信号に基づいてリード3列についての良否を判定する判定部14とを備えている。【効果】 QFI・IC1のリード3が側方から照明されるため、検査光はリード3の端面のエッジ部で乱反射され、他の部分で全反射されるので、リード3の端面の外形が鮮明に映し出される。その結果、リード3の端面の外観認識の不良を低減することができる。

Claim (excerpt)：

複数本のリードが整列されてパッケージ体の所定面から突設されている被検査物を保持する手段と、被検査物のリード列を撮像する撮像装置と、被検査物を照明する照明装置と、撮像装置の撮像信号に基づいてリード列の良否を判定する判定部とを備えているリード検査装置において、前記照明装置が被検査物の側方から照明するように構成されていることを特徴とするリード検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  H01L 21/66