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J-GLOBAL ID：200903026658727189

環境センサとその製造方法

Inventor： ドナルド・イー・アックレイ ,  ミカエル・リアク ,  チャン-ロン・シェ
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 大貫 進介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996042080
Publication number (International publication number)：1997218157
Application date： Feb. 05, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 製造が容易で、製造コストが低く、応答時間の制御性がよく、しかも多数のセンサ素子をアレイ状に形成可能な環境センサを提供する。【解決手段】 周囲環境における化学物質や変化を検出するセンサ(10,30,40,50,70)は、化学指示薬を含むゾル・ゲル・センサ素子(14,16,17,54,56,57)を利用する。基板(11,51)に溝(12,13,24,52,53)を形成する。溝は、化学指示薬を有するゾル・ゲル物質で充填され、ゾル・ゲルを硬化させて基板(11,51)に接着させる。溝(12,13,24,52,53)は、光ファイバ・ケーブル(46)のゾル・ゲル・センサ素子への光学的結合を容易とするように形成される。光は光ファイバ・ケーブル(46)からゾル・ゲル・センサ素子(14,16,17、54,56,57)に結合される。

Claim (excerpt)：

環境センサであって:表面を有する基板(11;51);前記表面上の複数の平行溝(12,13,24;52,53,54);および前記複数の平行溝の各溝内に配されたゾル・ゲル・センサ素子(14,16,18;54,56,57)から成ることを特徴とする環境センサ。

IPC (5)：

G01N 21/77 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/78 ,  G02B 6/00

FI (5)：

G01N 21/77 Z ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/64 Z ,  G01N 21/78 Z ,  G02B 6/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-232559
  
• 酸性ガスまたはアルカリ性ガスの検知材及びその製造方法並びに検知装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-058370   Applicant：株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• “FIBRE OPTIC pH SENSORS PREPARED BY SOL-GEL IMMOBILISATION TECHNIQUE”