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J-GLOBAL ID:200903026684190231

透明導電材の形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 間宮 武雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995083366
Publication number (International publication number):1996253318
Application date: Mar. 14, 1995
Publication date: Oct. 01, 1996
Summary:
【要約】【目的】 液晶表示装置の透明電極ITO膜を、スパッタ法や蒸着法によった場合よりも低い温度で形成できる方法を提供する。【構成】 インジウムアルコキシドとスズアルコキシドとを原料として非晶質のITOゾルを調製し、それに結晶性ITO粉末を種結晶として添加し、ゾル-ゲル法を応用してゲル化したITOゲルを加熱して結晶化する。
Claim (excerpt):
インジウムアルコキシドIn(OR)3(R:炭素数1〜10のアルキル基)とスズアルコキシドSn(OR’)4(R’:炭素数1〜10のアルキル基)とを原料として調製されたITOゾルにITO種結晶を添加し、その混合物を加熱してITOゲルを結晶化させることを特徴とする透明導電材の形成方法。
IPC (5):
C01G 19/00 ,  C30B 29/22 ,  G09F 9/30 335 ,  H01B 13/00 503 ,  H01B 5/14
FI (5):
C01G 19/00 A ,  C30B 29/22 Z ,  G09F 9/30 335 E ,  H01B 13/00 503 C ,  H01B 5/14 A

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