酸不安定性ペンダント基を有する多環式ポリマーからなるフォトレジスト組成物

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000511803
Publication number (International publication number)：2001516780
Application date： Sep. 03, 1998
Publication date： Oct. 02, 2001
Summary：

【要約】本発明は、光酸開始剤と、酸不安定性ペンダント基を有する繰返し単位を含む多環式ポリマーとからなる感放射線性フォトレジスト組成物に関する。結像性放射線源に対して露光すると、光酸開始剤は酸を発生し、この酸は酸不安定性ペンダント基を切断して、該ポリマー中に極性変化を起こす。該ポリマーは該結像源に露光された部分において水性塩基に可溶性となる。

Claim (excerpt)：

酸不安定性ペンダント基を有する多環式モノマーとペンダント極性官能基を有する多環式モノマーの少なくとも二種類の多環式モノマーからなるモノマー性反応組成物を、下記式:【化1】ここでMは第VIII族の遷移金属であり、Qは直鎖状および分鎖状(C1〜C10)パーハロアルキル、(C7〜C24)パーハロアルカリールおよびパーハロアリール基よりなる群から選ばれる電子求引性配位子であり、nは0、1、2または3の整数であり;fは1、2または3の整数であり;gは0か1の整数であり;fが1であるときRzは存在しなければならず;そして、Eは、存在するときには、一座または二座配位子から選択され、該一座配位子はπ-アレーン類;式:Ri-O-RiおよびRi-S-Riによって表されるエーテル類およびチオエーテル類、ここでRiは互いに同じでも異なっていてもよく、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキル基を表し、その酸素または硫黄異種原子と結合している複数のRi基は一緒になって炭素数が4〜8の複素環式環を形成することができ;炭素数が3〜6の環式ジエーテル類;式:Ri-C(O)-Riによって表されるケトン類、ここでRiの定義は上記と同じであり;炭素数が5〜8の置換または非置換環式ケトン類、ここで該置換基は直鎖状または分鎖状(C1〜C10)アルキル基および(C6〜C24)アリール基から選択され;式:N(Rd)3で表されるアミン類、ここでRdはそれぞれ独立に直鎖状または分鎖状(C1〜C10)アルキル、(C7〜C10)アラリル、(C6〜C24)アリールおよび炭素数が5〜8の脂環式基を表し、該アルキル、アリールおよび脂環式置換基は塩素、臭素、フッ素およびヨウ素から選択されるハロゲン原子を随意に含んでいてもよく;ピリジン、および直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキル基を有する置換ピリジン類;式:P(Rd)3で表されるホスフィン類;式:(Rd)3POで表されるホスフィンオキシド類;式P(ORd)3で表されるフォスファイト、ここで該ホスフィン類、ホスフィンオキシド類およびフォスファイトのそれぞれにおけるRdの定義は上記と同じであり;式:RiC(O)ORiによって表されるエステル化合物、ここでRiの定義は上記と同じであり;ラクトン類および直鎖状および分散状(C1〜C6)アルキルおよび(C6〜C15)アリール置換ラクトン類、ここでラクトン環の炭素数は3〜8である、よりなる群から選択される一座配位子であり;該二座配位子は、下記式:【化2】ここでYとZはそれぞれ独立に燐、酸素、カルボニル、窒素および硫黄を表し、これらは直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキル基および(C6〜C24)アリール基で随意に置換されていてもよく、そしてKは炭素数が2〜25である非置換および置換炭化水素主鎖部分あるいは二価のアルキレンエーテル部分を表し、ここで該アルキレンラジカルはそれぞれ独立に1〜10の炭素原子を有し、上記置換基は、存在するときには、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキル基、(C5〜C15)脂環式基、および(C6〜C24)アリール基、ハロゲン、およびアミンから選択される、によって表される燐、酸素、窒素および硫黄を含有する半不安定性キレート剤から選択される二座配位子であり;そしてRzは下記式:【化3】ここでR20、R21、およびR22はそれぞれ独立に水素、直鎖状または分鎖状(C1〜C5)アルキル、(C6〜C14)アリール、ベンジルの如き(C7〜C10)アラルキル、-COOR38、-(CH2)nOR38、Clおよび(C5〜C6)脂環式を表し、R38は直鎖状および分鎖状(C1〜C5)アルキルであり、nは1〜5であり、R20、R21、およびR22の中の任意の二つは互いに結合して脂環式基を形成することができる、によって表される置換または非置換アリル配位子である、によって表される予備生成触媒の存在下で重合せしめることからなる多環式ポリマーの製造方法であって、該多環式モノマー類は下記式:【化4】ここでR1からR4はそれぞれ独立に、水素、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキル、-(A)nC(O)OR*、-(A)nC(O)OR、-(A)n-OR、-(A)n-OC(O)R、-(A)n-C(O)R、-(A)n-OC(O)OR、-(A)n-OCH2C(O)OR*、-(A)n-C(O)O-A’-OCH2C(O)OR*、-(A)n-OC(O)-A’-C(O)OR*、-(A)n-C(R)2CH(R)(C(O)OR**)、および-(A)n-C(R)2CH(C(O)OR**)2よりなる群から選択される置換基を表し、ここでnは0か1であり、mは0から5の間の整数であり、-A-および-A’-はそれぞれ独立に、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキレン、(C2〜C10)アルキレンエーテル、ポリエーテル、または下記式:【化5】ここでaは2から7の間の整数であり、Rは水素または直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキルであり、およびR*は光酸開始剤によって切断可能であり且つ-C(CH3)3、-Si(CH3)3、-CH(Rp)OCH2CH3、-CH(Rp)OC(CH3)3、または下記環式基:【化6】ここでRpは水素または直鎖状または分鎖状(C1〜C5)アルキル基を表し、R**はそれぞれ独立にRとR*を表し、R1からR4のうちの少なくとも一つは該酸不安定基を含有する置換基から選択される、よりなる群から選ばれる置換基を表し、そしてR5からR8はそれぞれ独立に、水素、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキルおよび以下の極性置換基、すなわち-(A)n-C(O)OR’’、-(A)n-OR’’、-(A)n-OC(O)R’’、-(A)n-OC(O)OR’’、-(A)n-C(O)R’’、-(A)n-OC(O)C(O)OR’’、-(A)n-O-A’-C(O)OR’’、-(A)n-OC(O)-A’-C(O)OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-C(O)OR’’、-(A)n-C(O)-A’-OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-OC(O)OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-O-A’-C(O)OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-OC(O)C(O)OR’’、-(A)n-C(R’’)2CH(R’’)(C(O)OR’’)、および-(A)n-C(R’’)2CH(C(O)OR’’)2よりなる群から選択される置換基を表し、ここでnは0か1であり、pは0から5の間の整数であり、そしてR’’は水素、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルキル、直鎖状および分鎖状(C1〜C10)アルコキシアルキレン、ポリエーテル、単環式および多環式(C4〜C20)脂環式部分、環式エーテル、環式ジエーテル、環式ケトン、および環式エステル(ラクトン)から選択される置換基を表し、ただしR’’がアルキル、ラクトン、脂環式または環式ケトンであるとき、-A-基は存在しなければならずそしてアルキレンラジカルを表すことはできないものとする、によって表される多環式モノマー類である、上記方法。

IPC (2)：

C08G 61/08 , G03F 7/039 601

FI (2)：

C08G 61/08 , G03F 7/039 601

F-Term (18)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ10 , 2H025CB08 , 2H025CB41 , 2H025FA17 , 4J032CA35 , 4J032CA45 , 4J032CB03 , 4J032CD02 , 4J032CE11

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