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J-GLOBAL ID：200903026695348228

プローブ顕微鏡装置

Inventor： 森本 高史 ,  村山 健 ,  長澤 潔
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993075787
Publication number (International publication number)：1994258073
Application date： Apr. 01, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 短時間で容易にプローブ顕微鏡の探針と光学顕微鏡の光軸間の距離を測定できるプローブ顕微鏡装置の提供。【構成】 試料テーブル1の所定個所に蒸着膜2が蒸着され、1つの角部(所定点)Oと、それから直交方向に延びる蒸着膜2の2つのエッジ(段差部)が形成される。探針の両方向の1ライン走査により両段差部を検出し得る位置OP が決定され、所定点Oとの距離XP 、YP が演算される。次に、所定点Oが光学顕微鏡の視野5内に捕捉され、そのときの移動量X0 、Y0 と、視野5内の所定点Oと光軸OR の距離Xm 、Ym が演算される。これらによりプローブ顕微鏡の探針と光学顕微鏡の光軸間の距離が演算される。

Claim (excerpt)：

互いに直交するX軸およびY軸に沿って変位するXYステージと、このXYステージとともに変位し試料を載置する試料テーブルと、前記XYステージの変位量を計測する変位計と、前記試料テーブルに対向して配置された探針と、前記試料テーブルに対向しかつ前記探針から離れて配置される光学顕微鏡とを備えたプローブ顕微鏡装置において、段差部を備え前記探針により計測されるパターンと、前記各段差部を前記探針により検出可能な位置に変位させる第1の位置決め手段と、この第1の位置決め手段により定められた位置での前記探針と対向する位置と前記パターン上の段差部の所定点との距離を演算する第1の演算手段と、前記所定点を前記光学顕微鏡の視野内に移動させる第2の位置決め手段と、この第2の位置決め手段による移動量を演算する第2の演算手段と、前記光学顕微鏡の光軸と前記所定点の像との距離を演算する第3の演算手段と、前記第1の演算手段、前記第2の演算手段、および前記第3の演算手段により得られた値に基づいて前記探針と前記光軸との距離を求める第4の演算手段とを設けたことを特徴とするプローブ顕微鏡装置。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28