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J-GLOBAL ID：200903026704976520

検知剤

Inventor： 島田 孝 ,  山川 雅子 ,  名和 洋二
Applicant, Patent owner： 日本パイオニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995215458
Publication number (International publication number)：1996129009
Application date： Jul. 31, 1995
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造工程などから排出される排ガスなどに含まれるアルシン、ホスフィン、シランなどの水素化物ガスを他のガスによる悪影響をうけることなく、選択的に感度よく検知できる検知剤を開発する。【構成】 無機質担体に変色成分としてモリブデン酸あるいはモリブデン酸塩、好ましくはモリブデン酸塩と第二銅塩との混合物を担持させて検知剤とする。

Claim (excerpt)：

ガス中に含まれる水素化物ガスの検知剤において、無機質担体に変色成分としてモリブデン酸およびモリブテン酸塩の少なくとも1種が担持されてなることを特徴とする検知剤。

IPC (3)：

G01N 31/22 121 ,  G01N 21/77 ,  G01N 31/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 有害成分の除去剤及び検知剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-284847   Applicant：日本酸素株式会社