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J-GLOBAL ID：200903026709903319

アルコキシアルキルエステル溶解抑制剤を含んでなる光画像形成性組成物

Inventor： デニス・エドワード・ヴオーゲル
Applicant, Patent owner： ミネソタ マイニング アンド マニユフアクチヤリング カンパニー
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991309070
Publication number (International publication number)：1993005985
Application date： Nov. 25, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：

【要約】【構成】 水性基剤に溶解性のバインダー、アルコキシアルキルエステルを含んでなる酸感応性溶解抑制剤、および光化学酸源を含んでなる光画像形成性組成物。【効果】 露光物質の耐現像液性が優れているために優れた解像度および感度のプリントが得られる。

Claim (excerpt)：

(a)水性基剤に溶解性のバインダー、(b)アルコキシアルキルエステルを含んでなる酸感応性溶解抑制剤、および(c)光化学酸源を含んでなる光画像形成性組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-027829
  
• 特開平4-037760
  
• 特開平3-198059
  
• 特開平4-136856