半導体製造システムの温度制御装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：油井透 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068225
Publication number (International publication number)：1998270454
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を向上させ、小型化を図った半導体製造システムの温度制御装置。【解決手段】温度調節用に専門的に設けられている第1の熱電対3が使用不能になった場合においても、ヒータ2の温度を継続して測定し、しかもこの測定温度信号を温度調節に使用できるように、温度調節器8Aが使用できる熱電対を切り替えることができるように切替回路11を設けた。つまり、この切替回路11は、第1の熱電対3と第2の熱電対6とから測定温度信号を取り込み、通常は、第1の熱電対3からの温度測定信号を温度調節器8Aに与えるように温度調節器8からの制御によって動作し、温度調節器8Aからの判断によって第1の熱電対3の異常が検知されると、第2の熱電対6からの測定温度信号を温度調節器8に与えるように動作する。

Claim (excerpt)：

反応管を加熱する加熱炉を備え、この加熱炉にはヒータと、このヒータの温度を測定しヒータの温度調節用に使用する第1の温度センサと、上記ヒータの異常加熱を検知するための第2の温度センサとを備え、上記第1の温度センサを使用し上記ヒータの温度を測定し、この測定温度から上記ヒータへの電力供給を制御し発熱状態を制御すると共に上記第2の温度センサを使用し測定した上記ヒータの温度が異常に高温になったときに上記ヒータへの電力供給を強制的に停止させる半導体製造システムの温度制御装置において、上記第1の温度センサ及び上記第2の温度センサからの測定温度信号から判断し、いずれかの上記温度センサが故障であると認識したときに、他方の上記温度センサからの測定温度信号を使用して上記ヒータへの電力供給の制御を継続する制御手段を備えたことを特徴とする半導体製造システムの温度制御装置。

IPC (5)：

H01L 21/324 , H01L 21/22 511 , H05B 3/00 365 , H01L 21/02 , H01L 21/205

FI (5)：

H01L 21/324 T , H01L 21/22 511 A , H05B 3/00 365 H , H01L 21/02 Z , H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-165290
特開平4-165290
特開平4-165290

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