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J-GLOBAL ID：200903026749298728

ペレツトのピツクアツプ装置

Inventor： 栗田 嘉夫 ,  坂本 雄二
Applicant, Patent owner： ローム株式会社
Agent (1)： 石井 暁夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991178160
Publication number (International publication number)：1993029439
Application date： Jul. 18, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 エキスパンションシートの表面に貼着した半導体チップ等のペレットを、ピックアップコレットに向けて突き出すための機構を簡単にする。【構成】 エキスパンションシート5の裏面側に、針状体13を内蔵した固定式の真空吸着体12を配設する。真空吸着体12に、エキスパンションシート5に吸着するようにした吸着部12dを、真空吸着体12内への負圧の伝達にて吸着部12dが後退し、負圧の伝達遮断にて元の位置に復帰するように設け、この吸着部12d内に針状体13の先端を突出させる。

Claim (excerpt)：

表面にペレットを貼着したエキスパンションシートの表面側に、前記ペレットに対するピックアップコレットを配設する一方、前記エキスパンションシートの裏面側に、前記ピックアップコレットに向けて延びる針状体を内蔵した真空吸着体を配設し、該真空吸着体に、当該真空吸着体内への負圧の伝達にて前記エキスパンションシートに吸着するようにした吸着部を、当該吸着部が前記真空吸着体内への負圧の伝達にて前記針状体の軸線に沿って後退し負圧の遮断にて元の位置に復帰するように設けたことを特徴とするペレットのピックアップ装置。