膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、並びに非接触型カード媒体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002113586
Publication number (International publication number)：2003080694
Application date： Apr. 16, 2002
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】微細な膜パターンを形成することができ、工程も簡略化された機能性膜パターンの形成方法を提供することを目的とする。また、断線や短絡等の不良が生じにくく、しかも膜厚が厚く電気伝導等の機能発揮に有利なパターンを形成することのできる機能性膜パターンの形成方法を提供する。【解決手段】導電性微粒子等の機能性成分を含有した液体を基板101上にインクジェットにより吐出して機能性膜パターンを形成する方法であって、前記液体に対する接触角が30[deg]以上60[deg]以下である機能性膜形成面を有する基板上に前記液体をインクジェットにより塗布する工程(S2)と、塗布された前記液体を熱処理によって機能性膜に変換する工程(S3)と、を備える。前記インクジェットにより吐出する工程は、前記液体を前記基板上に付与された際の液体の直径の1%以上10%以下の重なりを生じるように吐出することが望ましい。

Claim (excerpt)：

機能性成分を含有した液体を基板上にインクジェットにより吐出して機能性膜パターンを形成する方法であって、前記液体に対する接触角が30[deg]以上60[deg]以下である膜形成面を有する基板上に前記液体をインクジェットにより塗布する工程と、塗布された前記液体を熱処理によって機能性膜に変換する工程と、を備えた、機能性膜パターンを形成する方法。

IPC (12)：

B41J 2/01 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , B05D 3/02 , B05D 5/12 , G02F 1/13 101 , H01J 9/02 , H01J 11/02 , H01L 21/288 , H01L 21/31 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (11)：

B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , B05D 3/02 Z , B05D 5/12 B , G02F 1/13 101 , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B , H01L 21/288 Z , H01L 21/31 A , B41J 3/04 101 Z , H01L 29/78 618 A

F-Term (85)：

2C056FA04 , 2C056FB01 , 2H088FA18 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA02 , 2H088HA04 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 4D075AC07 , 4D075AC09 , 4D075AC92 , 4D075AC93 , 4D075AE16 , 4D075BB24Y , 4D075BB26Z , 4D075BB68X , 4D075BB91X , 4D075CA13 , 4D075CA22 , 4D075CA36 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075DC24 , 4D075DC27 , 4D075EA07 , 4D075EA10 , 4D075EB16 , 4D075EB42 , 4D075EC10 , 4D075EC60 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA10 , 4F041BA13 , 4F041BA22 , 4F041BA56 , 4M104AA01 , 4M104BB01 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104DD28 , 4M104DD51 , 4M104DD80 , 4M104DD81 , 4M104HH14 , 4M104HH16 , 5C027AA01 , 5C027AA02 , 5C040GC19 , 5C040JA13 , 5F045AB03 , 5F045AB04 , 5F045AC16 , 5F045AC17 , 5F045AF07 , 5F045AF12 , 5F045BB08 , 5F045CA15 , 5F045EB19 , 5F045HA16 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC01 , 5F110CC02 , 5F110DD12 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG42 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

電気回路、その製造方法および電気回路製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-078149 Applicant：セイコーエプソン株式会社
プリント基板、電子放出素子、電子源、および画像形成装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-090621 Applicant：キヤノン株式会社
膜パターンの形成方法および形成装置、ならびにこれにより得られる膜構造体、電気光学装置、電子機器、および非接触型カード媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-331371 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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