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J-GLOBAL ID:200903026778110819
過酸化水素の精製法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994105585
Publication number (International publication number):1995041307
Application date: May. 19, 1994
Publication date: Feb. 10, 1995
Summary:
【要約】【目的】イオン交換樹脂等による精製では完全な除去が難しい、鉄、アルミニウム等の不純物を低レベルにまで除去する方法の提供。【構成】過酸化水素をアニオン交換樹脂またはアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合物に接触させて総リン酸根含有量を0.1ppm以下とした後、キレート樹脂を充填した塔に通液する。
Claim (excerpt):
過酸化水素水溶液をキレート樹脂と接触させることを特徴とする過酸化水素水溶液の精製法。
IPC (2):
C01B 15/013
, H01L 21/304 341
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