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J-GLOBAL ID：200903026781534212
表面弾性波コンボルバ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993249016
Publication number (International publication number)：1995106915
Application date： Oct. 05, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】 挿入損失が少ない、温度依存性が良いなど特性に優れ、生産性、信頼性の高い表面弾性波コンボルバを提供する。【構成】 半導体基板1および圧電基板2が、各基板表面の親水化処理および重ね合わせ熱処理により接合されており、前記圧電基板2上に、少なくとも入力電極3、3’を、前記圧電基板2と前記半導体基板1の非接合面に対向して出力電極4を備えたことを特徴とする表面弾性波コンボルバ。
Claim (excerpt)：
半導体基板および圧電基板が、各基板表面の親水化処理および重ね合わせ熱処理により接合されており、前記圧電基板上に、少なくとも入力電極を、前記圧電基板と前記半導体基板の非接合面に対向して出力電極を備えたことを特徴とする表面弾性波コンボルバ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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