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J-GLOBAL ID：200903026806903390

塗布法による金属酸化物膜の製造方法

Inventor： 吉原 俊夫 ,  高橋 伸子
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 吉田 勝広 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994337623
Publication number (International publication number)：1996183605
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 化学的手法により簡便で安定、且つ低温製膜温度でも充分に製膜し、機能性素子としての特性を持ち得る金属酸化物膜及びその製造方法を提供すること。【構成】 金属酸化物を経由して得られる金属フッ化物の膜を基板上に形成後、該膜を加熱及び焼成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

金属水酸化物を経由して得られる金属フッ化物の膜を基板上に形成後、該膜を加熱及び焼成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。

IPC (6)：

C01B 13/32 ,  C01F 5/06 ,  C01F 5/12 ,  C01F 5/28 ,  C01G 49/00 ,  B05D 1/38