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J-GLOBAL ID：200903026812474477

複合多層膜、その自己組織的な製造方法および電子部品

Inventor： 小野 隆 ,  藤井 俊介
Applicant, Patent owner： 三井化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003175387
Publication number (International publication number)：2005007320
Application date： Jun. 19, 2003
Publication date： Jan. 13, 2005
Summary：

【課題】固体表面上に異種の層が交互に周期的に積層した複合多層膜を、特殊な装置などを用いずに簡易的かつ短時間で製造する方法を提供する。【解決手段】炭化水素鎖を有するケイ素系化合物およびフッ素化された炭化水素鎖を有するケイ素系化合物の両化合物を含有する溶液を基板上に塗布し、次いで溶媒を揮発除去させることを特徴とする、炭化水素鎖を有するケイ素系化合物を含んで構成される層とフッ素化された炭化水素鎖を有するケイ素系化合物を含んで構成される層が交互に周期的に積層した複合多層膜の自己組織的な製造方法。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

炭化水素鎖を有するケイ素系化合物およびフッ素化された炭化水素鎖を有するケイ素系化合物の両化合物を含有する溶液を基板上に塗布し、次いで溶媒を揮発除去させることを特徴とする、炭化水素鎖を有するケイ素系化合物を含んで構成される層とフッ素化された炭化水素鎖を有するケイ素系化合物を含んで構成される層が交互に周期的に積層した複合多層膜の自己組織的な製造方法。

IPC (5)：

B05D7/24 ,  B32B9/00 ,  B32B31/00 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00

FI (5)：

B05D7/24 302Y ,  B32B9/00 A ,  B32B31/00 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00

F-Term (29)：

4D075AE03 ,  4D075BB24Z ,  4D075CA03 ,  4D075CA40 ,  4D075CB06 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DB48 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EB16 ,  4D075EB43 ,  4D075EB47 ,  4F100AG00 ,  4F100AH05B ,  4F100AH06A ,  4F100AH06B ,  4F100AT00 ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100EH46 ,  4F100EH46A ,  4F100EH46B ,  4F100GB41 ,  4F100JL02