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J-GLOBAL ID：200903026862529710

スプレー熱分解法による透明導電膜作製方法

Inventor： 川島 卓也
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ
Agent (1)： 増田 竹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002005183
Publication number (International publication number)：2003206159
Application date： Jan. 11, 2002
Publication date： Jul. 22, 2003
Summary：

【要約】【課題】 成膜時の膜均一性を保持し、膜厚均一性、透明度、抵抗値などの品質に優れた透明導電膜を作製することを目的とする。【解決手段】 ヒータを備えた基板保持部に基板をセットし、前記ヒータによって加熱した基板に向けてノズルから原料溶液を噴霧し、基板表面に透明な導電性の薄膜を作製する方法において、基板保持部にセットした基板の表面の温度分布を均一に保持することによって、成膜時の膜均一性を保持し、膜厚均一性、透明度、抵抗値などの品質に優れた透明導電膜を作製する。

Claim (excerpt)：

ヒータ(3)を備えた基板保持部(2)に基板(1)をセットし、前記ヒータ(3)によって加熱した基板(1)に向けてノズル(4)から原料溶液(10)を噴霧し、基板表面に透明な導電性の薄膜を作製する方法において、基板保持部(2)にセットした基板(1)の表面の温度分布が均一に保持されていることを特徴とするスプレー熱分解法による透明導電膜の作製方法。

IPC (2)：

C03C 17/25 ,  H01B 13/00 503

FI (2)：

C03C 17/25 Z ,  H01B 13/00 503 B

F-Term (12)：

4G059AA08 ,  4G059AB02 ,  4G059AC12 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA04 ,  4G059EA10 ,  4G059EB06 ,  5G323BA04 ,  5G323BB02 ,  5G323BC01