柔軟な基体のための高い耐摩耗性及び柔軟なコーティング

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外7名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995523566
Publication number (International publication number)：1998500609
Application date： Mar. 01, 1995
Publication date： Jan. 20, 1998
Summary：

【要約】基体と、炭素、水素、ケイ素及び酸素を含む耐摩耗性コーティング材料を含有する耐摩耗性の被覆基体製品が記載される。耐摩耗性コーティング材料は、約2〜約5GPaの範囲のナノインデンテーション硬度、約1%より大きいひずみ対微小割れ、及び可視スペクトルにおいて85%を超える透明度を有する。本発明の被覆製品は、眼科用レンズ又はレーザーバーコードスキャナーウィンドウ等の光学的応用への利用に適する。製品の製造方法においては、汚染物質を除去するため、第1に基体を化学洗浄する。第2の工程で、基体を真空チャンバーに挿入し、該チャンバーを脱気する。第3の段階で、残りの炭化水素及び表面酸化物の除去を完全にして表面を活性化するために、基体表面を強力イオン及び/又は反応種で攻撃する。基体表面をエッチングした後、保護さら、耐摩耗性のコーティングをプラズマ又はイオンビーム蒸着によって蒸着する。コーティングの厚みの選択が行われるようになったら、基体上の蒸着工程を終了し、真空チャンバーの圧力を大気圧まで上昇させ、耐摩耗性の向上したコーティングされた製品を真空チャンバーから取り出す。

Claim (excerpt)：

基体と、炭素、水素、ケイ素及び酸素を含む耐摩耗性コーティング材料とを含有する耐摩耗性の被覆基体製品であって、上記耐摩耗性コーティング材料が、約2〜約5GPaの範囲のナノインデンテーション硬度及び約1%より大きいひずみ対微小割れを有することを特徴とする、製品。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (18)

特開平1-132779
特開平4-270736
表面被覆プラスチックス製品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-006839 Applicant：三菱化成株式会社

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